The PAS 5500/350C is a Deep UV stepper for 0.15-µm applications and beyond.
The high productivity and low cost of ownership allow capacity extensions in existing DUV stepper fabs as well.
The PAS 5500/350C system provides a very cost-effective mix-and-match lithography solution when used in
conjunction with other ASML PAS 5500 i-line and DUV stepper
Key Features and Benefits
Variable 0.63-NA Deep UV Lens, Full Stepper Field
Production resolution down to 150 nm.
Continuously variable partial coherence and annular illumination
Fully automated imaging optimization for different process layers.
Beam delivery laser technology
Remote laser location to facilitate easy maintenance and safe operation.
Through-The-Lens (TTL) phase modulated alignment
For optimum overlay and matching simultaneous with industry-leading throughput.
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客户为什么选择协宏代加工Services you need we all provide
东莞协宏是一家集亚克力产品开发、模具设计与制造、注塑生产、装配和丝移印为一体的现代化研发型的高新技术企业。公司成立于2000年，拥有现代化亚克力生产设备，在模具设计与制造、注塑成型、成品总装等各项生产制作环节富有先进的技术和成熟的经验，掌握了亚克力制品从设计到生产的全套工艺，享有“全球亚克力制品行业领跑者”荣誉称号。
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开模-样品试作-量产-成品包装-出荷-全程品质监管
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客户为什么如此信任协宏的品质matsuga Processing quality
在生产过程中严格依照ISO9001、ISO14001、IATF16949等质量管理体系标准严控产品质量，以品质高、交期快、零退货赢得了客户的信赖与支持。
品质保证部由IQC、PQC、OQC、测量室和信赖性实验室组成。
PQC负责产品各生产环节的品质检查把控；
IQC来料检验及供应商监督；
OQC负责出荷前品质检查，保证每一批产品满足客户的品质要求，零退货；
测量室、信赖性实验室共配备了136台监测设备和实验设备，确保产品在各个生产环节的高品质输出。
客户第一
协宏同仁们始终将客户要求放在第一位，想客户之所想，急客户之所急。第一次把事情做对，已成为每位协宏人做事之准则。
服务优质
协宏公司拥有专职的业务跟单人员、报价工程师，项目工程师，技术工程师。致力于为每位客户提供优质的服务。
团队素养
协宏将“以人为本，以信立业”作为管理理念，我们致力于打造一支团结向上，技术过硬，有活力的团队。以客户为核心，密切关注客户需求。
实力资质
协宏公司20多年行业经验，且有自建的22亩产业园，齐全的自动化设备，完善的质检体系，交期有保障。
- 东莞生产总部
- 武汉生产总部
20多年
行业经验20000㎡
自建厂房36人
研发技术团队150人
生产人员
