Hitachi CD-SEM S-8840日立二手电镜/线宽测试仪

一、设备配置

1、晶片尺寸：6、8 英寸(直径：150mm 200mm)

2、晶片厚度：0.4mm~1mm兼容

3、硅片单元尺寸：0.2~2inch

4、卡匣：25片/批次

5、其他配置

5.1. 电子枪

5.2. 真空腔室

5.3. 真空泵

5.4. 透镜系统

5.5. X-Y 工作台

5.6. 承片台 8 寸

5.7. 硅片传输系统 8 寸

5.8. 硅片自动对准系统

5.9. 操作界面, 主控过程人机操作界面

5.10. 计算机系统,整机主控计算机和系统控制应用程序

5.11. 监视器, 图形和控制界面显示

二、设备性能

1、图像分辨率：5nm

2、CD 量测范围：0.1 ~ 10um

3、CD 重复性： 3σ≤5 nm or ≤±1 %

4、倍率： x 1000 ~ 150000 (SEM 图像); x 110 (光学显微镜图像)

5、焦深：≥1.0mm at 80000xmagnification

6、高纵横比接触孔图像≥12

项目详情/ details

客户为什么选择协宏代加工Services you need we all provide

东莞协宏是一家集亚克力产品开发、模具设计与制造、注塑生产、装配和丝移印为一体的现代化研发型的高新技术企业。公司成立于2000年，拥有现代化亚克力生产设备，在模具设计与制造、注塑成型、成品总装等各项生产制作环节富有先进的技术和成熟的经验，掌握了亚克力制品从设计到生产的全套工艺，享有“全球亚克力制品行业领跑者”荣誉称号。

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品质保证部由IQC、PQC、OQC、测量室和信赖性实验室组成。

PQC负责产品各生产环节的品质检查把控；

IQC来料检验及供应商监督；

OQC负责出荷前品质检查，保证每一批产品满足客户的品质要求，零退货；

测量室、信赖性实验室共配备了136台监测设备和实验设备，确保产品在各个生产环节的高品质输出。