ASML PAS 5500 8TFH-A二手翻新光刻机

Description

The PAS 5500/8TFH-A KrF Step-and-Scan system is a dedicated lithography tool for

thin-film head (TFH) production on 125-mm, 150-mm, and 200-mm AlTiC wafers.

It combines a powerful, variable NA up to 0.8 lens with the proven thick AlTiC wafer

handling of a PAS body and specific alignment improvements for the TFH environment.

The result is a new standard for TFH production at current and future technology nodes.

TFH manufacturing involves printing sub-100-nm isolated features, which demands extremely

low lens aberration levels. The PAS 5500/8TFH-A uses the proven ultra-low aberration KrF lens

from the XT platform on the PAS body, ensuring excellent performance and a low cost of ownership.

The low thermal conductivity of AlTiC wafers means maximum throughput on the track is restricted,

allowing the PAS 5500/8TFH-A more time for alignment and wafer stabilization. In addition,

the PAS 5500/8TFH-A features further improvements to the dynamics.

Together, these translate into industry-leading overlay and stitching performance on AlTiC wafers.

Key Features and Benefits

SmartStart

Enables user-defined wafer accommodation, meandering routing in X, and system start-up via

the job definition to provide stable production performance for small AlTiC wafer batch sizes

in combination with TFH-specific off-line data analysis software.

Proven AlTiC Wafer Handling

Proven handling of 1.2 mm thick (125 mm, 150 mm or 200 mm diameter) and 2.0 mm thick

(125 mm and 150 mm diameter) AlTiC wafers.

KrF Starlith 870 Projection Lens with Variable NA Up to 0.80

Ultra-low aberration levels enable isolated line imaging below 90 nm.

UNICOM, ADE

UNICOM enables automatic optimization of the slit uniformity per illumination setting.

Meanwhile, the automatic DOE exchanger (ADE) can hold up to 5 Diffractive Optical Elements (DOEs).

IOSc-4

The latest overlay capability configuration.

PAS 5500 Step-and-Scan Body

Improved dynamics and interferometer control enable best-in-class performance.

Multiple Exposure Technique

Enables different illumination modes and imaging settings with multiple masks,

and allows userdefined image sequence orders.

项目详情/ details

客户为什么选择协宏代加工Services you need we all provide

       东莞协宏是一家集亚克力产品开发、模具设计与制造、注塑生产、装配和丝移印为一体的现代化研发型的高新技术企业。公司成立于2000年,拥有现代化亚克力生产设备,在模具设计与制造、注塑成型、成品总装等各项生产制作环节富有先进的技术和成熟的经验,掌握了亚克力制品从设计到生产的全套工艺,享有“全球亚克力制品行业领跑者”荣誉称号。
客户为什么如此信任协宏的品质

开模-样品试作-量产-成品包装-出荷-全程品质监管

客户为什么如此信任协宏的品质matsuga Processing quality

在生产过程中严格依照ISO9001、ISO14001、IATF16949等质量管理体系标准严控产品质量,以品质高、交期快、零退货赢得了客户的信赖与支持。

品质保证部由IQC、PQC、OQC、测量室和信赖性实验室组成。

PQC负责产品各生产环节的品质检查把控;

IQC来料检验及供应商监督;

OQC负责出荷前品质检查,保证每一批产品满足客户的品质要求,零退货;

测量室、信赖性实验室共配备了136台监测设备和实验设备,确保产品在各个生产环节的高品质输出。

定制流程/ Customization process

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协宏同仁们始终将客户要求放在第一位,想客户之所想,急客户之所急。第一次把事情做对,已成为每位协宏人做事之准则。

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协宏公司20多年行业经验,且有自建的22亩产业园,齐全的自动化设备,完善的质检体系,交期有保障。

公司实力/ COMPANY STRENGTH
  • 东莞生产总部
  • 武汉生产总部
东莞市协宏塑胶制品科技有限公司是一家集模具设计制造,注塑加工成型,成品组装为一体的高新技术企业。 专注于提供小家电,医疗用品,汽车用品,智能家居等OEM/ODM一站式解决方案。公司成立于2000年,经过20多年的发展,现已拥有齐全的现代化生产设备和完善的质检体系。【查看详情+】
武汉市协宏智能家居用品有限公司属东莞市协宏塑胶制品科技有限公司旗下企业,公司坐落于湖北省咸宁市,以大批量塑胶成品定制生产为主。规划占地面积18000平方米。自然环境优美,交通便利。【查看详情+】

20多年

行业经验

20000

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研发技术团队

150

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