Hitachi SEM Regulus系列日立超高分辨场发射扫描电子显微镜

产品特点

沿用"SU8200系列"的冷场发射电子枪*2

采用电子束在Flashing后出现的高亮度稳定区域作为稳定观察的区间，使得低加速电压条件下兼备高分辨观察和分析的最佳性能

(Regulus8240/8230/8220: 0.7 nm/1 kV、Regulus8100: 0.8 nm/1 kV)

采用污染小、高真空样品仓

运用能量过滤器(选配)，可观察到多种成分对比度*

产品规格

项目			Regulus 8100	Regulus 8220	Regulus 8230	Regulus 8240
二次电子分辨率			0.7 nm （加速电压15 kV）	0.6 nm（加速电压 15 kV） 0.7 nm（着陆电压 1 kV）*3
			0.8 nm （着陆电压1 kV）*3
着陆电压			0.1～2 kV	0.01～20 kV
放大倍率			20～1,000,000倍*4	20～2,000,000倍*4
样品台	样品台控制		3轴马达台（可选5轴马达台）	5轴马达驱动
	移动范围	X	0～50 mm	0～50 mm	0～110 mm	0～110 mm
		Y	0～50 mm	0～50 mm	0～110 mm	0～80 mm
		R	360°
		T	-5～70°
		Z	1.5～30 mm		1.5～40 mm
	再现性		-	-	-	±0.5 µm以下含
						±0.5 µm

项目详情/ details

客户为什么选择协宏代加工Services you need we all provide

东莞协宏是一家集亚克力产品开发、模具设计与制造、注塑生产、装配和丝移印为一体的现代化研发型的高新技术企业。公司成立于2000年，拥有现代化亚克力生产设备，在模具设计与制造、注塑成型、成品总装等各项生产制作环节富有先进的技术和成熟的经验，掌握了亚克力制品从设计到生产的全套工艺，享有“全球亚克力制品行业领跑者”荣誉称号。

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在生产过程中严格依照ISO9001、ISO14001、IATF16949等质量管理体系标准严控产品质量，以品质高、交期快、零退货赢得了客户的信赖与支持。

品质保证部由IQC、PQC、OQC、测量室和信赖性实验室组成。

PQC负责产品各生产环节的品质检查把控；

IQC来料检验及供应商监督；

OQC负责出荷前品质检查，保证每一批产品满足客户的品质要求，零退货；

测量室、信赖性实验室共配备了136台监测设备和实验设备，确保产品在各个生产环节的高品质输出。