ULVAC 爱发科刻蚀设备：INE-3085

产品特性 / Product characteristics

• 4inch晶圆可放置7片同时处理，6inch晶圆可实现3片同时处理，小尺寸晶圆方面，2inch晶圆可实现29片、3英寸可对应12片同时处理

• 搭载了在化合物半导体领域拥有600台以上出货实绩的有磁场ICP（ISM）高密度等离子源

• 高生产性（比以前提高140%）

• 为防止RF投入窗的污染待在了爱发科独自开发的星型电极

• 彻底贯彻Depo对策，实现了维护便利、长期稳定、高信赖性的硬件

• 拥有丰富的工艺应用的干法刻蚀技术（GaN蓝宝石、各种metal、ITO、SiC、AlN、ZnO、4元系化合物半导体）

• 丰富的可选机能

产品应用 / Product application

• 对应LED的GaN、蓝宝石、各种金属、ITO等的干法刻蚀设备

项目详情/ details

客户为什么选择协宏代加工Services you need we all provide

东莞协宏是一家集亚克力产品开发、模具设计与制造、注塑生产、装配和丝移印为一体的现代化研发型的高新技术企业。公司成立于2000年，拥有现代化亚克力生产设备，在模具设计与制造、注塑成型、成品总装等各项生产制作环节富有先进的技术和成熟的经验，掌握了亚克力制品从设计到生产的全套工艺，享有“全球亚克力制品行业领跑者”荣誉称号。

开模-样品试作-量产-成品包装-出荷-全程品质监管: 客户为什么如此信任协宏的品质matsuga Processing quality

在生产过程中严格依照ISO9001、ISO14001、IATF16949等质量管理体系标准严控产品质量，以品质高、交期快、零退货赢得了客户的信赖与支持。

品质保证部由IQC、PQC、OQC、测量室和信赖性实验室组成。

PQC负责产品各生产环节的品质检查把控；

IQC来料检验及供应商监督；

OQC负责出荷前品质检查，保证每一批产品满足客户的品质要求，零退货；

测量室、信赖性实验室共配备了136台监测设备和实验设备，确保产品在各个生产环节的高品质输出。