Clean Track™ ACT™系列是基于Clean Track™系列技术的产品,可支持300/200mm晶片的涂胶显影工艺。关键优势有高吞吐量、减少占用空间和启动时间的改进。此外,除可对应光刻工艺外,这些技术还适用于掩模工艺和低k介质工艺。由于其作为行业标准系统的高可靠性,ACT™系列继续为客户的生产做出贡献。
Clean Track™ ACT™ 8是针对75-200毫米晶圆的涂胶/显影设备,提供稳定、高质量的工艺加工能力,并实现从研发到批量生产的顺利过渡。当与曝光设备在线使用时,该系统在占用空间方面与之前的系统相似,但由于其更快的晶片传输速度,提供了更高的吞吐量。由于组件的可靠性的提高和维护的方便性,正常运行时间有所提高。该平台还使用了一个化学过滤器和一个高精度的烤箱来支持DUV处理。
Clean Track™ ACT™ 8 SOD是一种介电旋涂系统,能够涂布、烘烤和固化低k介电膜。它可以处理不同的SOD材料(包括有机、无机、杂化和多孔薄膜),通过对各自的材料进行优化的专用单元。该系统配备了一个能够在低氧环境下进行高温处理的热板,可以在不使用传统炉的情况下实现在线固化。
开模-样品试作-量产-成品包装-出荷-全程品质监管
在生产过程中严格依照ISO9001、ISO14001、IATF16949等质量管理体系标准严控产品质量,以品质高、交期快、零退货赢得了客户的信赖与支持。
品质保证部由IQC、PQC、OQC、测量室和信赖性实验室组成。
PQC负责产品各生产环节的品质检查把控;
IQC来料检验及供应商监督;
OQC负责出荷前品质检查,保证每一批产品满足客户的品质要求,零退货;
测量室、信赖性实验室共配备了136台监测设备和实验设备,确保产品在各个生产环节的高品质输出。
协宏同仁们始终将客户要求放在第一位,想客户之所想,急客户之所急。第一次把事情做对,已成为每位协宏人做事之准则。
协宏公司拥有专职的业务跟单人员、报价工程师,项目工程师,技术工程师。致力于为每位客户提供优质的服务。
协宏将“以人为本,以信立业”作为管理理念,我们致力于打造一支团结向上,技术过硬,有活力的团队。以客户为核心,密切关注客户需求。
协宏公司20多年行业经验,且有自建的22亩产业园,齐全的自动化设备,完善的质检体系,交期有保障。
20多年
行业经验20000㎡
自建厂房36人
研发技术团队150人
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