Crestec CABL-UH（130kV）EBL电子束光刻机

Special Features

◆ Vacc: 130kV Max (25-130kV, 5kV steps)

◆ Single-Stage Acceleration capability up to 130kV to minimize EOC size

◆ Micro-Discharge Free Electron Gun

◆ Beam Diameter: >1.6nm

◆ Electrostatic Lens between emitter and anode is designed to achieve very

low aberration and short-rang crossover image at the center of blanking electrodes

◆ Ultra-stable write capability is achieved using dual thermal controllers

Specifications

Electron Emitter/ Acceleration voltage	TFE (ZrO/W)/25 to 130kV
Min. beam diameter	1.6nm
Scan method	Vector scan (x, y) (Standard) Vector scan (r, θ), Raster scan, Spot scan (Optional)
Advanced lithography functions (Optional)	Field size modulation lithography, axial symmetry pattern lithography
Field size	sq. 30μm, sq. 60μm, sq. 120μm, sq. 300μm, sq. 600μm, sq. 1000μm
Work piece size	4，6，8inchΦ (work pieces of other sizes and other shapes can be mounted with our flexible contrivances)
CAD software	Dedicated CAD (Standard), GDS II conversion (Optiional)， DXF conversion（Optional）
OS	Windows

项目详情/ details

客户为什么选择协宏代加工Services you need we all provide

东莞协宏是一家集亚克力产品开发、模具设计与制造、注塑生产、装配和丝移印为一体的现代化研发型的高新技术企业。公司成立于2000年，拥有现代化亚克力生产设备，在模具设计与制造、注塑成型、成品总装等各项生产制作环节富有先进的技术和成熟的经验，掌握了亚克力制品从设计到生产的全套工艺，享有“全球亚克力制品行业领跑者”荣誉称号。

开模-样品试作-量产-成品包装-出荷-全程品质监管: 客户为什么如此信任协宏的品质matsuga Processing quality

在生产过程中严格依照ISO9001、ISO14001、IATF16949等质量管理体系标准严控产品质量，以品质高、交期快、零退货赢得了客户的信赖与支持。

品质保证部由IQC、PQC、OQC、测量室和信赖性实验室组成。

PQC负责产品各生产环节的品质检查把控；

IQC来料检验及供应商监督；

OQC负责出荷前品质检查，保证每一批产品满足客户的品质要求，零退货；

测量室、信赖性实验室共配备了136台监测设备和实验设备，确保产品在各个生产环节的高品质输出。