Semsysco VHS-P全自动晶圆电镀机

VHS-P电镀设备特点

处理 300x300mm² 至 Gen5.1 基板

沉积极其均匀的金属结构。

获得专利的高速电镀可实现更高的产量和更好的均匀性——无需改变化学成分

工业 4.0 就绪——控制和监控所有过程参数

电镀均匀度 5% 或更好

蚀刻均匀性 5% 或更好

在线加药系统

在线化学监测

安全在线气体检测

许多蚀刻工艺的多点终点检测

工艺应用

ELECTRO CHEMICAL DEPOSITION（电化学沉积）

Cu RDL layer

Cu tall pillar

Cu Bumb

Cu –Ni- SnAg , Cu-SnAg

Cu- Ni- Au

Au, Cu TSV

Au pillar

SURFACE PREPARATION（表面处理）

Resist develop

Resist strip

Seed layer etch

Barrier layer etch

OSP

Cu seed e-less

Cleaning

Cu roughening

项目详情/ details

客户为什么选择协宏代加工Services you need we all provide

东莞协宏是一家集亚克力产品开发、模具设计与制造、注塑生产、装配和丝移印为一体的现代化研发型的高新技术企业。公司成立于2000年，拥有现代化亚克力生产设备，在模具设计与制造、注塑成型、成品总装等各项生产制作环节富有先进的技术和成熟的经验，掌握了亚克力制品从设计到生产的全套工艺，享有“全球亚克力制品行业领跑者”荣誉称号。

开模-样品试作-量产-成品包装-出荷-全程品质监管: 客户为什么如此信任协宏的品质matsuga Processing quality

在生产过程中严格依照ISO9001、ISO14001、IATF16949等质量管理体系标准严控产品质量，以品质高、交期快、零退货赢得了客户的信赖与支持。

品质保证部由IQC、PQC、OQC、测量室和信赖性实验室组成。

PQC负责产品各生产环节的品质检查把控；

IQC来料检验及供应商监督；

OQC负责出荷前品质检查，保证每一批产品满足客户的品质要求，零退货；

测量室、信赖性实验室共配备了136台监测设备和实验设备，确保产品在各个生产环节的高品质输出。