

技术能力覆盖:ASML和NIKON光刻机的翻新改造、安装调试及维护的核心技术能力。中国唯一完成过ArF, KrF, I Line, G Line全部工程案例的团队。
衬底尺寸对应:针对12英寸及以下的不同尺寸(包括硅、碳化硅、氮化镓、蓝宝石等)、不同掩模版尺寸的要求,可实现自主设计、加工制造、集成调整的改造能力。
备品备件供应:能够进行包括光学系统在内的全面翻新、调试、测试,具备完整的运行保障能力,和备品备件的供应。
工艺制程能力:针对不同产品(如MEMS、mirco LED、Power、RF等),具备资深的工艺人才和技术基础,能够针对不同的产品特性进行设备选型、技术匹配及工艺试验。


超过30年的ASML服务经验,团队主要经历:
1985-1994年, 为欧洲、亚洲和美国客户,管理 ASML 设备的现场服务和技术支持业务。并在台湾设立服务机构。
1994-2004年,为亚洲、美国和欧洲提供大客户支持,负责ASML设备和服务的业务发展,管理亚洲、美国和欧洲的综合销售流程。
2004-2007年,在 ASML 的价值采购愿景内,负责所有流程的设计策略和执行。包括在质量、物流技术和总成本( QLTC )方面发展,管理一个长期和有竞争力的全球供应链。
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