0769-2223 1935
Hitachi SFE-SEM SU5000日立热场式场发射扫描电镜
创新的“EM Wizard”界面更加直观，仅需要“点击”即可得到完美的图像。超前的电脑辅助技术将电镜的操作与控制提升到一个新水平。
产品描述
产品特点：
高性能电子光学系统
性能优异：
产品规格：
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项目 |
内容 |
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分辨率 |
1.2nm @ 30 kV |
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3.0nm @ 1 kV |
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2.0nm @ 1 kV 减速模式*1 |
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3.0nm @ 15 kV 低真空模式*2 |
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放大倍率 |
10 -600,000×(底片倍率),18-1,000,000×(800×600 像素) |
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30-1,500,000×(1,280×960像素) |
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电子光学系统 |
电子枪 |
ZrO/W 肖特基式电子枪 |
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加速电压 |
0.5-30kV（0.1kV步进） |
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着陆电压 |
减速模式：0.1-2.0kV*1 |
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最大束流 |
>200 nA |
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探测器 |
低位二次电子探测器 |
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低真空模式*2 |
真空范围：10-300Pa |
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马达台 |
马达台控制 |
5-轴自动（优中心） |
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可动范围 |
X：0～100mm |
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Y：0 ~ 50mm |
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Z：3 ~ 65mm |
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T：-20 ~ 90° |
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R：360° |
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最大样品尺寸 |
最大直径：200mm |
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最大高度：80mm |
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选配探测器 |
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*1：减速功能（包含高分辨率顶位二次电子探测器）
*2：低真空功能（包含5分割半导体探测器）
*3：空压机
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