0769-2223 1935
ULVAC 爱发科溅射设备：SME-200
全自动多工艺对应用最大搭载7个工艺腔的溅射设备，可实现多种类材料溅射，诸如高温成膜（PZT等）、高精度侧壁成膜、光学膜、化合物膜、合金膜等。枚叶式设计，可实现多工序溅射，同时有效抑制溅射中产生的高温。
产品描述
产品特性 / Product characteristics
• Φ200mm可搬运基板
• 作为处理室，阵容多样的模块
• 介质用模块
• 高温成膜模块
• 精密分布模块
• 蚀刻模块
产品应用 / Product application
• 电子零件
• MEMS
• Power Device
• LED
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