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ULVAC 爱发科溅射设备：SIV-500
用于particle抑制的通过型竖直溅射，可实现基板往复或line式搬送，多用于SiO、SiN等光学薄膜溅射，亦可用于金属溅射。
产品描述
产品特性 / Product characteristics
• 竖直搬送基板低particle产生
• 省空间设计
• 形成膜条件多腔体单独控制
• 根据成膜物质种类制定专用阴极
产品应用 / Product application
• LED
• MEMS
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