0769-2223 1935
ULVAC 爱发科刻蚀设备：NLD-5700
对应光学器件、MEMS制造的干法刻蚀装置NLD-5700是搭载了磁性中性线（NLD- neutral loop discharge）等离子源的量产用干法刻蚀装置。（此爱发科独创的NLD技术设备可实现产生低压、低电子温度、高密度的等离子）
产品描述
产品特性 / Product characteristics
• 在洁净房内作业可扩张为双腔。（可选配腔室：NLD、有磁场ICP、CCP或者去胶室）
• NLD为时间空间可控的等离子，因此设备干法清洁容易
• 腔体维护简便
• 从掩模刻蚀到石英、玻璃刻蚀，可提供各类工艺解决方案
• 专门的半导体技术研究所会提供万全的工艺支持体制
产品应用 / Product application
• 光学器件（光衍射格子、変调器、光开关等等）
• 凹凸型微透镜
• 流体路径作成或光子学结晶
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