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LAM TCP 9600二手翻新刻蚀机
专业翻新改造Lam各种刻蚀设备，现货供应Lam 2300系列、Lam RST201、Lam SEZ203、Lam Strip45 Chamber、Lam Research 4520 TCP、Lam TCP 9600、Lam TCP 9400等各种型号设备，欢迎来电咨询。
产品描述
技术指标
configured 8” wafer
TCP Etch source for metal etching
DSQ Module for resist strip
ESC with He cooling
Edwards STP-H1000C Turbo pump
AE RFG1250 RF generator
Classic software
Optical End point detection
Gas lines with Unit MFC
BCl3 200sccm
Cl2 100sccm
N2 20 sccm
Ar 100sccm
BCl3 50sccm
O2 500sccm
CF4 100sccm
O2 2L
M&W Chiller
3x Ebara A30 Dry pumps
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