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USHIO UX-4系列投影式光刻机


这款投影矫正器采用了我们独特的大面积投影镜头技术、光源和 Ushio 多年开发的其他光学技术。在不接触掩模的情况下提供最大 8 英寸晶圆的一次曝光。大景深可实现非平面晶圆的适当曝光,实现接近式对准器无法实现的更高生产率和产量。

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产品描述

应用

MEMS

晶体振荡器

SAW 滤波器

RF 设备

传感器

喷墨头 二极管 IGBT 功率半导体

晶闸管 MOS-FET LED 功率放大器 MMIC BAW 滤波器 加速度传感器 电感器 无源元件 太阳能电池等

优势

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

型号列表

 

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