0769-2223 1935
ULVAC 爱发科刻蚀设备：INE-3085
面向LED、Powerdevice、MEMS等诸多领域开发，搭载静电吸附系统，采用更大的静电托盘，较常规设备拥有更高的刻蚀速率和更大的产能。同时搭载ULVAC专利的ISM电极及Star电极，有更高的等离子体密度，同时拥有更低的电子温度，有效抑制刻蚀损伤及温升。
产品描述
产品特性 / Product characteristics
• 4inch晶圆可放置7片同时处理，6inch晶圆可实现3片同时处理，小尺寸晶圆方面，2inch晶圆可实现29片、3英寸可对应12片同时处理
• 搭载了在化合物半导体领域拥有600台以上出货实绩的有磁场ICP（ISM）高密度等离子源
• 高生产性（比以前提高140%）
• 为防止RF投入窗的污染待在了爱发科独自开发的星型电极
• 彻底贯彻Depo对策，实现了维护便利、长期稳定、高信赖性的硬件
• 拥有丰富的工艺应用的干法刻蚀技术（GaN蓝宝石、各种metal、ITO、SiC、AlN、ZnO、4元系化合物半导体）
• 丰富的可选机能
产品应用 / Product application
• 对应LED的GaN、蓝宝石、各种金属、ITO等的干法刻蚀设备
上一篇
返回列表
