0769-2223 1935
产品描述
设备尺寸
W1100*D950*H1650mm≈700Kg(S17)
W1400*D1900*H1750mm≈1700Kg(S17Plus)
W1500*D1200*H1750mm≈2000Kg(S17Pro)
最高精度
分拣精度±25微米，角度±2°
健康配置
光幕安全防护
静电防护
ESD接口、离子风扇
功能优势
Wafer-Tray、Tray-Wafer、Wafer-Wafer;
尺寸检测
外观缺陷检测(颜色\崩边\胶水\污渍\异物等)
Mapping计数&分选
OCR字符识别
Max：12inch wafer
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